Merak 系列：專為 VCSEL 量測、雷射二極體與 3D 感測開發的超高解析穿透式光學系統
ULTRA-HIGH RESOLUTION TRANSMISSIVE SPECTROMETER FOR VCSEL & LD
Merak 天璇系列高解析度光譜儀
(MR 系列工業級高速穿透式光學量測系統)
專為次世代半導體雷射與自動化光學 ATE 產線量身打造，Merak 天璇系列 (MR 系列) 是 OtO Photonics 針對高端半導體量測推出的超高解析度旗艦機種。Merak 系列採用創新的全面穿透式光學分光架構 (Fully Transmissive Optical Design)，搭配專利微調校準機構，在 830~970 nm 的核心波段內，能實現 < 0.1 nm 的極致高光學解析度（搭配 5µm 狹縫，最優可達 0.07nm 級別）。系統配備了 4096 像素的高速線陣 CMOS 感測器與 32-bit RISC 微控制器，具備超高速連續曝光能力與極佳的動態範圍，能精準捕捉 VCSEL、雷射二極體 (Laser Diode) 的尖銳發射譜線與功率調變，完美聯動晶圓級與封裝級高速 LIV 量測。
⭐ 核心優勢：專利穿透式 Czerny-Turner 光路與 4096 像素高速 CMOS 完美融合，低雜散光、超高精準度，是 VCSEL 與 3D Sensing 精密檢測的首選方案。
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產品核心特色 (Key Features)
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極致 < 0.1nm 光學解像力： 標準配置 5µm 狹縫時，於 850nm 及 940nm 附近解析度可達 < 0.1nm (甚至達到 0.076nm)，精準捕捉 VCSEL 縱模特徵與半值寬 (FWHM)。
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特製全面穿透式光路： 採用特殊穿透式光學架構與高線數光柵（1500 grooves/mm @ 930nm），帶來低色散、高線性度與超低雜散光性能。
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4096 像素高速 CMOS： 搭載高速長線陣型感測器，曝光時間最快可達 100 µs，支援超高精密、高速無間斷連續曝光擷取。
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獨家雜散光校正演算法： 內建 OtO 專利雜散光校正技術，將系統雜散光降至 0.01% 的優異水準，大幅提高光譜量測的信賴度與動態範圍（2200:1）。
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高度彈性客製化服務： 支援 different 線數的穿透式光柵換裝，可在 180~1100 nm 範圍內針對客戶特定應用的窄波段進行解像力與範圍優化。
📊 典型版本與光學解析度配置 (Model & Wavelength Selection)
※ 備註：Merak 天璇系列隨附功能強大的軟體開發套件 (SDK) 與 APIs（全面支援 Windows 環境，並提供 Linux 範例程式碼），可完美支援客製化 LabVIEW 控制驅動庫、高速自動化產線 ATE 整合及高速訊號調取。
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🔍 技術資源索引 (Technical Index)：
Merak 天璇系列
MR 系列光譜儀
VCSEL 雷射 LIV 量測
Laser Diode 雷射二極體測試
3D Sensing 半導體檢測
0.1nm 超高光學解析度
OtO Photonics 代理商
MR 系列光譜儀
VCSEL 雷射 LIV 量測
Laser Diode 雷射二極體測試
3D Sensing 半導體檢測
0.1nm 超高光學解析度
OtO Photonics 代理商